| Auteur | Rechercher : Burnett, J. H.; Rechercher : Amirtharaj, P. M.; Rechercher : Cheong, H. M.; Rechercher : Paul, W.; Rechercher : Koteles, E. S.1; Rechercher : Elman, B. |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | International Workshop on Semiconductor Characterization: Present Status and Future Needs, January 30 - February 2, 1995, Gaithersburg, MD, USA |
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| Date de publication | 1996 |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Numéro NPARC | 12338602 |
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| Identificateur de l’enregistrement | ebd36747-09ad-4a3c-bb5a-ac0319a55d37 |
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| Enregistrement créé | 2009-09-10 |
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| Enregistrement modifié | 2020-03-20 |
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