Experimental study of drilling sub-10 μm holes in thin metal foils with femtosecond laser pulses

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0169-4332(99)00331-1
Auteur	Rechercher : Zhu, X.¹; Rechercher : Villeneuve, D. M.²; Rechercher : Naumov, A. Yu.²; Rechercher : Nikumb, S.³; Rechercher : Corkum, P. B.²
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC Conseil national de recherches Canada. Technologies de sécurité et de rupture Conseil national de recherches Canada. Automobile et les transports de surface
Format	Texte, Article
Sujet	drilling; laser ablation; mathematical models; micromachining; pulsed laser applications; solid state lasers; ultrafast phenomena; laser parameters; metal foil
Résumé	Aluminum foils with thickness ranging from 1.5 to 50 μm, and W, Mo, Ti, Cu, Fe, Ag, Au, and Pb foils of 25 μm thickness have been drilled with femtosecond Ti:sapphire laser pulses centered at 800 nm. The influence of laser parameters and material properties on hole drilling processes at sub-10 μm scale has been examined. A simple model is shown to predict the ablation rate for a range of metals.
Date de publication	1999-11-02
Dans	Applied Surface Science 152, nº 3 (2 novembre 1999) : 138–148.
Langue	anglais
Publications évaluées par des pairs	Oui
Numéro NPARC	21276188
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Identificateur de l’enregistrement	d909edcd-4fbc-406d-99a6-fdb0a347e3d1
Enregistrement créé	2015-09-28
Enregistrement modifié	2020-03-20

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