A new KOH-based UV assisted wet etching technique and its alication to AlGaN/GaN HFET fabrication and characterization
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Affiliation |
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Format | Texte, Article |
Conférence | International Workshop on Nitride Semiconductors, 2000 |
Date de publication | 2000 |
Maison d’édition | Institute of Pure and Applied Physics |
Dans | |
Série | |
Langue | anglais |
Numéro NPARC | 12346331 |
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Identificateur de l’enregistrement | 8a31afe4-6bdf-45ec-a2a5-8d9404c06f93 |
Enregistrement créé | 2009-09-17 |
Enregistrement modifié | 2020-12-18 |
- Date de modification :