| Téléchargement | - Voir la version finale : Calibration of an internal-length standard by angle-stepping gap interferometry (PDF, 2.7 Mio)
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| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1088/1681-7575/adb753 |
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| Auteur | Rechercher : Leroux, Ian D.1; Rechercher : Hunter, Tyler J.1; Rechercher : Reain, Gregory C.1; Rechercher : Eves, Brian J.1Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-2481-0334 |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada. Centre de recherche en métrologie
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| Format | Texte, Article |
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| Sujet | Fabry-Pérot etalon; phase-stepping interferometry; bidirectional correction; probe diameter; point-to-point length |
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| Résumé | We demonstrate a simple interferometric method for calibrating the length of an uncoated Fabry-Pérot etalon, using a rotary analog of phase-stepping interferometry. The interferometric method is designed to realize nearly the same measurand as a subsequent measurement in a tactile instrument. The estimated expanded uncertainty of 4 nm for the optical calibration, together with the well-matched measurands, make the etalon a promising transfer standard for the calibration of bidirectional corrections in tactile probing systems. |
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| Date de publication | 2025-03-04 |
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| Maison d’édition | Bureau international des poids et mesures |
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| Déclaration de droit d’auteur | - © His Majesty the King in Right of Canada, as represented by the Minister of Innovation, Science and Industry, 2025
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Identificateur de l’enregistrement | 7f23ac7e-c3cd-44f4-b5e6-01d0fd3facd7 |
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| Enregistrement créé | 2026-03-19 |
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| Enregistrement modifié | 2026-04-21 |
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