| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.309498 |
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| Auteur | Rechercher : Corkum, P. B.1 |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing V, January 26-28, 1998, San Jose, CA, USA |
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| Sujet | Laser pulses; Light refraction; Micromachining; Semiconductor materials; Femtosecond lasers; Materials processing; Lasers |
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| Résumé | As a result of rapid engineering progress, femtosecond lasers will soon be available for industrial applications such as micro machining. I will review the physics behind laser machining of metals, semiconductors and transparent materials. Then I will briefly discuss the current state-of-the-art in femtosecond laser technology of interest to micro machining. |
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| Date de publication | 1998 |
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| Maison d’édition | SPIE |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Numéro NPARC | 21276185 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 74a61c28-296c-4be1-8dbb-910f050b4e1e |
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| Enregistrement créé | 2015-09-28 |
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| Enregistrement modifié | 2020-03-20 |
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