Quantitative measurement of Field Emission Scanning Electron Microscope FESEM spatial resolution

Autre titre	Symposium 7
Auteur	Rechercher : Drouin, D.; Rechercher : Aimez, V.; Rechercher : Fraser, Jeffrey¹; Rechercher : Poole, Philip¹; Rechercher : Beauvais, J.; Rechercher : Beerens, J.
Affiliation	Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Conférence	2nd Conf Int Union Microbeam Analysis Societies, 9-13 July 2000, Kailua-Kona, Hawaii
Numéro NPARC	12346382
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Identificateur de l’enregistrement	6b8e66d6-4703-446c-b875-0d1dbbc6d0d8
Enregistrement créé	2009-09-17
Enregistrement modifié	2020-04-16