Growth of vacuum evaporated ultra-porous silicon studied with spectroscopic ellipsometry and scanning electron microscopy
Growth of vacuum evaporated ultra-porous silicon studied with spectroscopic ellipsometry and scanning electron microscopy
| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1063/1.1823029 |
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| Affiliation |
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| Format | Texte, Article |
| Date de publication | 2005 |
| Dans | |
| Langue | anglais |
| Publications évaluées par des pairs | Oui |
| Numéro NPARC | 12743952 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 5a9dd2ce-c4f3-4375-8b26-d10e7a01d892 |
| Enregistrement créé | 2009-10-27 |
| Enregistrement modifié | 2023-04-17 |
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