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Comparison of processes in radio-and microwave frequency plasmas by optical emission spectroscopy

Par Conseil national de recherches du Canada

AuteurRechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada
FormatTexte, Article
Conférence10th International Symposium on Plasma Chemistry, August 4-9, 1991, Bochum, Germany
Date de publication
Dans
  • 10th International Symposium on Plasma Chemistry, Bochum, Germany, August 4-9, 1991: symposium proceedings (1991).
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21277527
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Identificateur de l’enregistrement4d9a46b7-2307-4abc-b648-dbd308fa9e4d
Enregistrement créé2016-04-05
Enregistrement modifié2020-03-17
Date de modification :