Influence of laser parameters and material properties on micro drilling with femtosecond laser pulses

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1007/s003390051418
Auteur	Rechercher : Zhu, X.¹; Rechercher : Naumov, A. Yu.²; Rechercher : Villeneuve, D. M.²; Rechercher : Corkum, P. B.²
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC Conseil national de recherches Canada. Technologies de sécurité et de rupture
Format	Texte, Article
Résumé	We report experimental results of drilling micro holes in Al, Mo, Ti, Cu, Ag, Au, and brass thin metal foils in air using 60-femtosecond Ti:sapphire laser pulses. The influence of laser parameters and material properties on drilling processes at the sub-10-micron scale has been examined. Comparison of hole drilling using 60-fs pulses with that using 50-ps and 10-ns pulses at an energy fluence of ∼ 15 J/cm2 indicates that a significant amount of melting is present in both ps and ns regimes, whereas with fs pulses, fewer and much smaller droplets from the molten phase are observed.
Date de publication	1999-12-29
Dans	Applied Physics A: Materials Science and Processing 69, nº 7 (29 décembre 1999) : S367–S371.
Langue	anglais
Publications évaluées par des pairs	Oui
Numéro NPARC	21276235
Exporter la notice	Exporter en format RIS
Signaler une correction	Signaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrement	32501c02-ff0c-41c9-b72d-759167126991
Enregistrement créé	2015-09-28
Enregistrement modifié	2020-03-20

Détails de la page