Robust single-etch surface grating couplers for silicon nitride waveguide platform

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.2666064
AuteurRechercher : ; Rechercher : 1Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Quantique et nanotechnologies
FormatTexte, Article
ConférenceIntegrated Optics: Design, Devices, Systems, and Applications VII, April 24-28, 2023, Prague, Czech Republic
Sujetoptical gratings; silicon nitride; optical design; waveguides; fabrication; optical fibers; finite-difference time-domain method; apodization; polarization gratings; silicon
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionSPIE
Dans
Série
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
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Identificateur de l’enregistrement1ee77ca6-0195-40db-a0c2-142ec107f8d6
Enregistrement créé2024-10-30
Enregistrement modifié2024-10-30
Date de modification :