Practical magnetron sputtering system for the deposition of optical multilayer coatings
Practical magnetron sputtering system for the deposition of optical multilayer coatings
| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1364/AO.31.003784 |
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| Format | Texte, Article |
| Date de publication | 1992-07 |
| Maison d’édition | Optica Publishing Group |
| Dans | |
| Langue | anglais |
| Publications évaluées par des pairs | Oui |
| Numéro du CNRC | NRC-INMS-765 |
| Numéro NPARC | 5765273 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 1b999396-8c53-440f-8f69-62eec4a749ee |
| Enregistrement créé | 2009-03-29 |
| Enregistrement modifié | 2023-09-29 |
- Date de modification :