Thermal Leakage Improvement by Using a High-Work-Function Ni Electrode in High-k TiHfO Metal-Insulator-Metal Capacitors

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1149/1.2422874
Auteur	Rechercher : Chiang, K. C.; Rechercher : Huang, C. C.; Rechercher : Pan, H. C.; Rechercher : Hsiao, C. N.; Rechercher : Cheng, C. H.; Rechercher : Chou, C. P.; Rechercher : Chin, A.; Rechercher : McAlister, Sean¹
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Date de publication	2007
Dans	Journal of the Electrochemical Society 154, nº 3 (2007) : G54–G57.
Numéro NPARC	12744039
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Identificateur de l’enregistrement	fee36cb4-aeee-4fa7-b31b-6696b5965f76
Enregistrement créé	2009-10-27
Enregistrement modifié	2020-05-10