| Auteur | Rechercher : Lockwood, David1; Rechercher : Grom, G.; Rechercher : Fauchet, P.; Rechercher : Tsybeskov, L.; Rechercher : McCaffrey, John2; Rechercher : Baribeau, J-M |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
- Conseil national de recherches Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | Materials Research Society Symposium on Structure and Properties of Ultrathin Dielectric Films on Silicon and Related Structures |
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| Numéro NPARC | 12346337 |
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| Identificateur de l’enregistrement | fd2890c2-9ab5-4353-90eb-d5aa7d5dd9b8 |
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| Enregistrement créé | 2009-09-17 |
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| Enregistrement modifié | 2020-04-16 |
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