Large Q-factor Improvement for spiral inductors on silicon using proton implantation

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1109/LMWC.2003.819383
Auteur	Rechercher : Chan, K. T.; Rechercher : Huang, C. H.; Rechercher : Chin, A.; Rechercher : Li, M. F.; Rechercher : Kwong, D. -L.; Rechercher : McAlister, Sean¹; Rechercher : Duh, D. S.; Rechercher : Lin, W. J.
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Date de publication	2003
Dans	IEEE Microwave and Wireless Components Letters 13, nº 11 (2003) : 460–462.
Numéro NPARC	12744407
Exporter la notice	Exporter en format RIS
Signaler une correction	Signaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrement	f509704e-11ac-408f-aa54-b6375a6f2372
Enregistrement créé	2009-10-27
Enregistrement modifié	2020-04-02

Détails de la page