Sélection de la langue

Gouvernement du Canada / Government of Canada

Recherche

Observations of the microscopic growth mechanism of pillars and helices formed by glancing-angle thin-film deposition

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.1326940
AuteurRechercher : ; Rechercher :
FormatTexte, Article
Sujetrandom processes; scanning electron microscopy; transmission electron microscopy; vapour deposition
Résumé
We have studied the mechanisms influencing growth of thin films onto an oblique rotating substrate by cross-sectional transmission electron microscopy and scanning electron microscopy. We have analyzed the growth of pillars and helices in random and regular arrays, and have examined the influence of introducing a line of missing nuclei on the growth of regular array of pillars and helices.
Date de publication
Dans
  • Journal of Vacuum Science & Technology A : Vacuum, Surfaces, and Films 19, nº 1 : 158–166.
Langueanglais
Publication du CNRC
Cette publication n’est pas du CNRC

Ce sont des publications qui ont été rédigées par un auteur du CNRC, mais avant que celui-ci soit employé du CNRC.

Numéro NPARC12338246
Exporter la noticeExporter en format RIS
Signaler une correctionSignaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrementf2274dbd-a120-4dc0-879f-82d0b1ede1f8
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-03-26
Date de modification :