Large Area 50 nm Period Grating by Multiple Nanoimprint Lithography and Spatial Frequency Doubling

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DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1063/1.2390652
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FormatTexte, Article
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Langueanglais
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Numéro du CNRCNRCC 53659
Numéro NPARC12744732
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Identificateur de l’enregistrementf1101659-6367-4ee6-ae6f-4100fbc55b7e
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-05-10

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