Synthesis of tantalum pentoxide films by pulsed laser deposition: material characterization and scale-up

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0040-6090(99)00703-8
Auteur	Rechercher : Boughaba, S.; Rechercher : Sproule, G¹; Rechercher : McCaffrey, John²; Rechercher : Islam, M.; Rechercher : Graham, Michael¹
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC Conseil national de recherches Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
Format	Texte, Article
Date de publication	2000
Dans	Thin Solid Films 358, nº 1-2 (2000) : 104–113.
Numéro NPARC	12744342
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Identificateur de l’enregistrement	eb54c30b-ec07-4554-8de8-b79a0201a174
Enregistrement créé	2009-10-27
Enregistrement modifié	2020-03-26