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Fabrication and structural and optical properties of amorphous Si/SiO2 superlattices on (100)Si

AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
ConférenceMaterials Research Society Meeting, Symposium G, Structure and properties of multilayered thin films, San Francisco, California, USA, April 17-19, 1995
Date de publication
Dans
  • Structure and properties of multilayered thin films : symposium held April 17-19, 1995, San Francisco, California, U.S.A. (1995) : 259–264.
Série
  • Materials Research Society symposia proceedings 382.
Langueanglais
Numéro NPARC12338943
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Identificateur de l’enregistremente0c8e523-a057-4acd-a5e5-8085478d3790
Enregistrement créé2009-09-11
Enregistrement modifié2020-04-29

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