Integrated design and manufacture of thin film multilayer filters using an automated deposition system

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Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC12327911
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Identificateur de l’enregistrementde9df6bb-d49e-4003-ab0e-0e4bf41dd88b
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2020-03-20

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