Design and simulation of a scaled-up continuous deformable mirror system driven by MEMS-based Lorentz actuator arrays

Par Conseil national de recherches du Canada

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Affiliation du nom
  1. Conseil national de recherches du Canada. Nanotechnologie
  2. Conseil national de recherches du Canada. Herzberg en astronomie et en astrophysique
FormatTexte, Résumé
ConférenceCOMSOL conference 2020 North America, Oct. 7-8, 2020 [Hosted Online]
Description physique2 p.
Résumé
Date de publication
Maison d’éditionThe Conference
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro du CNRCNRC-NANO-096
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Identificateur de l’enregistrementdd121e8a-6a7d-45c7-ab06-d5f7f0e434bf
Enregistrement créé2021-02-22
Enregistrement modifié2021-02-22
Date de modification: