Design and simulation of a scaled-up continuous deformable mirror system driven by MEMS-based Lorentz actuator arrays

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Auteur	Rechercher : Park, Byoungyoul¹; Rechercher : Bergren, Adam John¹; Rechercher : Belov, Miroslav¹; Rechercher : Burley, Greg²; Rechercher : Shafai, Cyrus
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Nanotechnologie Conseil national de recherches Canada. Herzberg en astronomie et en astrophysique
Format	Texte, Résumé
Conférence	COMSOL conference 2020 North America, Oct. 7-8, 2020 [Hosted Online]
Description physique	2 p.
Résumé	This paper presents the design and simulation results of a MEMS-actuated deformable mirror (DM) consisting of a 20 × 20 Lorentz-force actuator array bonded to a flexible mirror. The DM is the critical component of an Adaptive Optics (AO) system targeted for ground-based telescope applications to actively compensate for optical aberrations due to atmospheric turbulence. In addition, there are several other applications for such AO systems, including microscopy, medical imaging, and optical communication. In order to meet the needs of various applications, Finite Element Method simulation of actuator performance is carried out using COMSOL Multiphysics software.
Date de publication	2020-10-08
Maison d’édition	The Conference
Langue	anglais
Publications évaluées par des pairs	Oui
Numéro du CNRC	NRC-NANO-096
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Identificateur de l’enregistrement	dd121e8a-6a7d-45c7-ab06-d5f7f0e434bf
Enregistrement créé	2021-02-22
Enregistrement modifié	2021-02-22

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Par :

Conseil national de recherches Canada

Date de modification :: 2026-08-12