Onset of shadowing-dominated growth in glancing angle deposition

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1063/1.2794420
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC12744570
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Identificateur de l’enregistrementd831bd40-7588-4a24-928f-1b743d929324
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2023-05-10

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