Fabrication of out-of-plane micro-mirrors in silicon-on-insulator planar waveguides

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.2186656
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC12744830
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Identificateur de l’enregistrementcf6917d1-4ce7-4d7f-8a6e-4ee58aca2f96
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-04-22

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