Fabrication of out-of-plane micro-mirrors in silicon-on-insulator planar waveguides
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| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.2186656 |
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| Auteur | Rechercher : 1; Rechercher : 1Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1 |
| Affiliation |
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| Format | Texte, Article |
| Date de publication | 2006 |
| Dans | |
| Langue | anglais |
| Publications évaluées par des pairs | Oui |
| Numéro NPARC | 12744830 |
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| Identificateur de l’enregistrement | cf6917d1-4ce7-4d7f-8a6e-4ee58aca2f96 |
| Enregistrement créé | 2009-10-27 |
| Enregistrement modifié | 2020-04-22 |
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