| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1002/1521-3862(20020116)8:1<17::AID-CVDE17>3.0.CO;2-3 |
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| Auteur | Rechercher : Chen, Yao-Lun; Rechercher : Liu, Chao-Shiuan; Rechercher : Chi, Yun; Rechercher : Carty, Arthur J.1; Rechercher : Peng, Shie-Ming; Rechercher : Lee, Gene-Hsiang |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada. Institut Steacie des sciences moléculaires du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Sujet | 1,5-Cyclooctadiene; Aminoalkoxide; Hexafluorodiacetone; Imine; Iridium; Ketoiminate; Nobel metals |
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| Résumé | The syntheses of three volatile IrI cyclooctadiene precursors is described. The anionic ligand was carefully selected to produce a structure (see Figure) with physical properties suitable for CVD requirements. Films grown using oxygen as carrier gas produced iridium thin films with a purity higher than 98 % and a measured resistivity in the range of 8.4 to 10.2 μΩ cm. |
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| Date de publication | 2002-01-01 |
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| Dans | |
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| Langue | anglais |
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| Numéro NPARC | 12329219 |
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| Identificateur de l’enregistrement | c738aca7-bdf4-453d-981c-fb7c9965bef6 |
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| Enregistrement créé | 2009-09-10 |
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| Enregistrement modifié | 2020-03-30 |
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