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Simulation of a scaled-up deformable mirror system driven by MEMS-based Lorentz actuator arrays

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AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 2; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Nanotechnologie
  2. Conseil national de recherches Canada. Herzberg en astronomie et en astrophysique
FormatTexte, Article
ConférenceCOSMOL 2020, Oct. 7-8, 2020 [Hosted Online]
Description physique5 p.
SujetMEMS; adaptive optics (AO); deformable mirror (DM); Lorentz actuator
Résumé
In this paper, the design and analysis of a low voltage large stroke (over 10 µm) MEMS Lorentz deformable mirror, which uses a rigid crossbar, serpentine spring, and thin membrane mirror, is presented. The rigid crossbar and flexible serpentine spring structure minimize the driving current and voltage by maximizing the generated Lorentz force. Designed actuators constitute hundreds or thousands of arrays, depending on the application, and are bonded to a thin-film mirror. The mirror surface can be transformed into various shapes by the Lorentz force generated on each actuator node, which can be used to compensate for distorted wavefronts caused by atmospheric turbulence in ground-based telescope applications. The proposed structure is modelled and studied using COMSOL Multiphysics software.
Date de publication
Maison d’éditionThe Conference
Dans
  • Proceedings of the 2020 COSMOL Conference.
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro du CNRCNRC-NANO-75
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Identificateur de l’enregistrementbe881029-210a-412c-8a90-14dd88a22412
Enregistrement créé2021-02-16
Enregistrement modifié2021-02-16

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