ELNES and EDS Maing in HfOxNy Thin Films and AlN/TiN Superlattices

Auteur	Rechercher : Botton, G.; Rechercher : Couillard, M.; Rechercher : Lee, M-S; Rechercher : Landheer, Dolf¹; Rechercher : Pankov, V.; Rechercher : Prince, R.
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Conférence	Microscopy and Microanalysis 2004, August 1-5, 2004, Savannah, Georgia, USA
Numéro NPARC	12346697
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Identificateur de l’enregistrement	bce7c3df-8385-4364-ab87-bfe79e8a7127
Enregistrement créé	2009-09-17
Enregistrement modifié	2020-04-16

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