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Determination of AlₓGa₍₁₋ₓ₎As composition: the MBE perspective

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0022-0248(96)01037-8
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Résumé
Although the AlₓGa₍₁₋ₓ₎As alloy system has been extensively investigated, there are still considerable uncertainties in measuring the value of x. Here a new AlₓGa₍₁₋ₓ₎As calibration structure, grown by molecular beam epitaxy, has been used to establish unambiguous alloy compositions. Such ‘standard’ AlxGa(1 − xAs layers were measured by high-resolution X-ray diffraction, photoluminescence, and Raman spectroscopy to determine the compositional variations of the measured physical parameters. The formulae provided give a reliable calibration base for other characterization tools. A detailed analysis of the X-ray results shows that Vegard's law does not hold for the variation of the AlₓGa₍₁₋ₓ₎As lattice constant with x.
Date de publication
Maison d’éditionElsevier
Dans
  • Journal of Crystal Growth 175-176, nº 1 (1 mai 1997) : 238–243.
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC12328296
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Identificateur de l’enregistrementbc3317b9-2778-42ef-b47c-339f24384bc3
Enregistrement créé2009-09-10
Enregistrement modifié2024-02-14

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