| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1117/12.657463 |
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| Auteur | Rechercher : Macintosh, Bruce; Rechercher : Graham, James; Rechercher : Oppenheimer, Ben; Rechercher : Poyneer, Lisa; Rechercher : Sivaramakrishnan, Anand; Rechercher : Véran, Jean-Pierre1 |
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| Éditeur | Rechercher : Olivier, Scot S.; Rechercher : Tadigadapa, Srinivas A.; Rechercher : Henning, Albert K. |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada. Institut Herzberg d'astrophysique du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Conférence | MOEMS-MEMS 2006 Micro and Nanofabrication, January 21-27, 2006, San Jose, California, United States |
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| Date de publication | 2006 |
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| Maison d’édition | SPIE |
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| Dans | |
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| Série | |
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| Langue | anglais |
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| Publications évaluées par des pairs | Oui |
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| Numéro NPARC | 13053561 |
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| Exporter la notice | Exporter en format RIS |
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| Identificateur de l’enregistrement | b3d2a013-bd82-4da7-90bd-47b42608e181 |
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| Enregistrement créé | 2009-11-25 |
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| Enregistrement modifié | 2020-04-22 |
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