Integrated antennas on SI with over 100 GHz performance, fabricated using an optimized proton implantation process

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1109/LMWC.2003.817146
Auteur	Rechercher : Chan, K. T.; Rechercher : Chin, A.; Rechercher : Lin, Y. D.; Rechercher : Chang, C. Y.; Rechercher : Zhu, C. X.; Rechercher : Li, M. F.; Rechercher : Kwong, D. L.; Rechercher : McAlister, Sean¹; Rechercher : Duh, D. S.; Rechercher : Lin, W. J.
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Date de publication	2003
Dans	IEEE Microwave and Wireless Components Letters 13, nº 11 (2003) : 487–489.
Numéro NPARC	12744627
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Identificateur de l’enregistrement	b2f0923f-f242-4d64-a719-7b17873e7dae
Enregistrement créé	2009-10-27
Enregistrement modifié	2020-04-02

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