Equilibrium position of misfit dislocations in thin epitaxial films

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DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1088/0268-1242/18/4/320
Auteur	Rechercher : Wu, X.¹; Rechercher : Weatherly, G. C.
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Résumé	The role of the free surface in determining the equilibrium position of misfit dislocations in thin epitaxial films is considered. When the film is elastically stiffer than the substrate, the core of the dislocation is predicted to lie at some distance from the interface in the softer substrate. On the other hand, when the film is softer than the substrate, the core of the dislocation is always predicted to lie close to the interface.
Date de publication	2003-02-26
Dans	Semiconductor Science and Technology 18, nº 4 (26 février 2003) : 307–311.
Langue	anglais
Numéro NPARC	12744594
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Identificateur de l’enregistrement	ad103f66-14d3-4497-9c57-8a104e0ce75d
Enregistrement créé	2009-10-27
Enregistrement modifié	2020-04-02

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