A measurement of young’s modulus and residual stress in MEMS bridges using a surface profiler
A measurement of young’s modulus and residual stress in MEMS bridges using a surface profiler
| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1088/0960-1317/13/5/321 |
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| Format | Texte, Article |
| Date de publication | 2003 |
| Dans | |
| Numéro NPARC | 12744629 |
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| Identificateur de l’enregistrement | acec03b3-c346-45c3-89cb-5f9d766244c8 |
| Enregistrement créé | 2009-10-27 |
| Enregistrement modifié | 2020-04-02 |
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