| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1109/TED.2004.839880 |
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| Auteur | Rechercher : Chao, T. -S.; Rechercher : Ku, W. -M.; Rechercher : Lin, H. -C.; Rechercher : Landheer, Dolf1; Rechercher : Wang, Y. -Y.; Rechercher : Mori, Y. |
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| Affiliation | - Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
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| Format | Texte, Article |
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| Date de publication | 2004 |
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| Dans | |
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| Numéro NPARC | 12744740 |
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| Identificateur de l’enregistrement | a96770be-fd3e-4f21-b44c-3247354e5259 |
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| Enregistrement créé | 2009-10-27 |
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| Enregistrement modifié | 2020-04-17 |
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