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Low voltage deformable mirror system driven by MEMS-based Lorentz actuator arrays

Par Conseil national de recherches du Canada

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  1. (PDF, 2.3 Mio)
DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.4224/40002661
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 2; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Nanotechnologie
  2. Conseil national de recherches du Canada. Herzberg en astronomie et en astrophysique
FormatTexte, Allocution
ConférenceCOSMOL Day Microsystems 2021, April 22, 2021
Description physique22 slides
Résumé
The design and analysis of a low voltage large stroke (over 10 µm) MEMS Lorentz deformable mirror, which uses a rigid crossbar, serpentine spring, and thin membrane mirror, is presented. The rigid crossbar and flexible serpentine spring structure minimize the driving current and voltage by maximizing the generated Lorentz force. Designed actuators constitute hundreds or thousands of arrays, depending on the application, and are bonded to a thin-film mirror. The mirror surface can be transformed into various shapes by the Lorentz force generated on each actuator node, which can be used to compensate for distorted wavefronts caused by atmospheric turbulence in ground-based telescope applications. The proposed structure is modelled and studied using COMSOL Multiphysics software
Date de publication
Maison d’éditionNational Research Council of Canada
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsNon
Numéro du CNRCNRC-NANO-163
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Identificateur de l’enregistrement9e5da740-7a6a-4d12-899f-79d648f8a7b3
Enregistrement créé2021-07-12
Enregistrement modifié2022-05-19
Date de modification :