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Sub-second humidity sensing based on nanostructured narrow-bandpass optical filters

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1557/PROC-0915-R07-01
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FormatTexte, Article
Résumé
An optical-based humidity sensor with a sub-second response time was fabricated from a nanostructured titanium dioxide thin film. A refractive index profile designed to yield a narrow-bandpass optical interference filter was obtained through nanoscale porosity variations produced by glancing angle deposition (GLAD). Under varying humidity conditions the transmittance spectrum of the filter shifts due to effective index changes of the porous structure resulting from adsorption/desorption of water vapor. In the following we will show that this device is highly sensitive, exhibits minimal hysteresis, and is extremely fast. The adsorption and desorption response times were measured to be 270 ms and 160 ms, respectively.
Date de publication
Maison d’éditionSpringer
Dans
  • Symposium R: Nanostructured Materials and Hybrid Composites for Gas Sensors and Biomedical Applications, 0915-R07-01 (2005).
Série
  • MRS Online Proceedings Library 915.
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Publication du CNRC
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Numéro du CNRCNRC-NINT-267
Numéro NPARC8926088
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Identificateur de l’enregistrement986b459d-edda-401c-b86b-00b0046d4790
Enregistrement créé2009-04-23
Enregistrement modifié2021-06-28

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