Development of optical monitor for control of thin-film deposition
Development of optical monitor for control of thin-film deposition
| DOI | Trouver le DOI : https://doi.org/10.1364/AO.25.003645 |
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| Format | Texte, Article |
| Date de publication | 1986-10 |
| Maison d’édition | Optica Publishing Group |
| Dans | |
| Langue | anglais |
| Publications évaluées par des pairs | Oui |
| Numéro du CNRC | NRC-INMS-1018 |
| Numéro NPARC | 8896731 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 979811d5-e148-41a6-adae-39e869d681fa |
| Enregistrement créé | 2009-04-22 |
| Enregistrement modifié | 2023-09-29 |
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