Role of Ripening and Defects in the Formation of Mesoepitaxial Cobalt-disilide Layers

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0304-3991(00)00090-5
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Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
Numéro NPARC12744274
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Identificateur de l’enregistrement86cfbff1-4981-4e31-84bd-6825987ccc9c
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-03-27

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