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Matrix effects in sims depth profiles of SiGe superlattices

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/0168-583X(90)90907-C
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
FormatTexte, Article
ConférenceNinth International Conference on Ion Beam Analysis, June 26-30, 1989, Kingston, Ontario, Canada
Date de publication
Maison d’éditionElsevier
Dans
  • Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 45, nº 1-4 (2 janvier 1990) : 592–596.
Langueanglais
Numéro du CNRCNRC-INMS-4347
Numéro NPARC8896706
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Identificateur de l’enregistrement82439d9f-fbfb-4556-acea-a9b4f45d72f4
Enregistrement créé2009-04-22
Enregistrement modifié2024-02-13
Date de modification :