Investigation of the contamination at the substrate-epilayer interface for epi-ready substrates
Investigation of the contamination at the substrate-epilayer interface for epi-ready substrates
Auteur | Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1 |
---|---|
Affiliation |
|
Format | Texte, Rapport technique |
Date de publication | 2004-11 |
Numéro NPARC | 12745799 |
Exporter la notice | Exporter en format RIS |
Signaler une correction | Signaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet) |
Identificateur de l’enregistrement | 7ca79f6f-3c2e-4e97-9b98-652c60e122f7 |
Enregistrement créé | 2009-10-28 |
Enregistrement modifié | 2020-03-06 |
- Date de modification :