Thin film calibration specimen for light-element EDX analysis

Auteur	Rechercher : Malac, M.; Rechercher : Egerton, R.
Format	Texte, Affiche
Conférence	March Meeting of the American Physical Society 1998, March 16-20 1998, Los Angeles, California
Résumé	Many transmission electron microscopes have been fitted with thin-window energy -dispersive X-ray (EDX) detectors capable of analysing light (4<Z<11) elements, but many of these systems are used only for qualitative or semi-quantitative measurements due to absence of accurate calibration factors. We have used reactive sputtering and e-beam evaporation to make free standing amorphous films which can be inserted into analytical TEM to routinely measure these k-factors. Elemental ratios in the films were measured by electron energy loss spectroscopy (EELS)
Date de publication	1998-03-20
Maison d’édition	American Physical Society
Dans	Bulletin of the American Physical Society 43, nº 1.
Langue	anglais
Publications évaluées par des pairs	Non
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Identificateur de l’enregistrement	7c5cf194-1b87-49f7-b85d-1cb251042010
Enregistrement créé	2020-08-10
Enregistrement modifié	2020-08-10

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