Formation of chemically clean and morphologically smooth PtSi/Si interfaces

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1557/PROC-318-129
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches du Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Conférence1993 MRS Fall Meeting, Symposium Ca: Interface Control of Electrical, Chemical, and Mechanical Properties, November 29 - December 3, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Résumé
Date de publication
Dans
Série
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC21276804
Exporter la noticeExporter en format RIS
Signaler une correctionSignaler une correction (s'ouvre dans un nouvel onglet)
Identificateur de l’enregistrement7a06ff56-bb9e-44b7-a91d-2082550fee74
Enregistrement créé2015-10-20
Enregistrement modifié2020-04-24
Date de modification :