Silicon containing organic-inorganic hybrid materials as EUV photoresists
Silicon containing organic-inorganic hybrid materials as EUV photoresists
| Format | Texte, Article |
|---|---|
| Date de publication | 2005 |
| Dans | |
| Publications évaluées par des pairs | Oui |
| Numéro du CNRC | 83 |
| Numéro NPARC | 8926414 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 77b15b94-9957-493f-81cd-fb416cfb9e33 |
| Enregistrement créé | 2009-04-23 |
| Enregistrement modifié | 2020-04-07 |
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