Improved High-Temperature Leakage in High-Density MIM Capacitors by Using a TiLaO Dielectric and an Ir Electrode

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1109/LED.2007.909612
Auteur	Rechercher : Cheng, C. H.; Rechercher : Pan, H. C.; Rechercher : Yang, H. J.; Rechercher : Hsiao, C. N.; Rechercher : Chou, C. P.; Rechercher : McAlister, Sean¹; Rechercher : Chin, A.
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Date de publication	2007
Dans	IEEE Electron Device Letters 28, nº 12 (2007) : 1095–1097.
Numéro NPARC	12744338
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Identificateur de l’enregistrement	733bb21c-fb79-4b23-a4c7-e87b07188726
Enregistrement créé	2009-10-27
Enregistrement modifié	2020-05-10

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