Room temperature deposition of ITO using r.f. magnetron sputtering

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0040-6090(02)00425-X
Auteur	Rechercher : Gorjanc, T. C.; Rechercher : Leong, D.; Rechercher : Py, Christophe¹; Rechercher : Roth, Daniel¹
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
Format	Texte, Article
Date de publication	2002
Dans	Thin Solid Films 413, nº 1-2 (2002) : 181–185.
Numéro NPARC	12744715
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Identificateur de l’enregistrement	6f37ef24-058a-4252-a589-d1f81cdd172d
Enregistrement créé	2009-10-27
Enregistrement modifié	2020-03-30

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