Determination of the thickness of thin anodic oxides on GaAs using AFM, profilometry, TEM, XPS and SIMS

Auteur	Rechercher : Schmuki, P.; Rechercher : Buchanan, Margaret¹; Rechercher : Mason, B.; Rechercher : Sproule, G¹; Rechercher : McCaffrey, John²; Rechercher : Graham, Michael¹
Affiliation	Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC Conseil national de recherches Canada. Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
Format	Texte, Article
Conférence	Proceedings of the 3rd International Conference on the Microscopy of Oxidation, 16-18 September 1996, held at Trinity Hall, the University of Cambridge, UK
Date de publication	1996-09
Dans	Microscopy of oxidation 3: Proceedings of the Third International Conference on the Microscopy of Oxidation (septembre 1996).
Numéro NPARC	12327648
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Identificateur de l’enregistrement	6c29fe2c-5be3-4874-bf1e-5ed2e91ebc5a
Enregistrement créé	2009-09-10
Enregistrement modifié	2020-03-20