Fabrication of a variable diffraction efficiency phase mask by multiple dose ion implantation

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.588283
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
ConférenceThe 39th International symposium on electron, ion, and photon beams, Scottsdale, Arizona, USA, May 30 - June 2, 1995
SujetBRAGG REFLECTION; DIFFRACTION GRATINGS; FIBER OPTICS; ION IMPLANTATION; MASKING; RADIATION DOSES; SILICON IONS; SILICON OXIDES
Résumé
Date de publication
Dans
Série
Langueanglais
Numéro NPARC12339096
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Identificateur de l’enregistrement66cc1517-32cb-41fd-b50d-3868155b7408
Enregistrement créé2009-09-11
Enregistrement modifié2020-04-29

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