Nanofabrication using a direct-write electron beam lithography system
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|---|---|
| Format | Texte, Article |
| Conférence | CSTC, August 18-22, 2003 |
| Numéro NPARC | 12346652 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 62475e25-dbc8-4a54-a91d-d10e9c42b615 |
| Enregistrement créé | 2009-09-17 |
| Enregistrement modifié | 2020-04-16 |
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