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Molecular beam epitaxy synthesis of Si1−yCy and Si1−x−yGexCy alloys and Ge islands using an electron cyclotron resonance argon/methane plasma

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1016/S0040-6090(02)00241-9
AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : ; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
  • Thin Solid Films 410, nº 1-2 (2002) : 61–71.
Numéro NPARC12744507
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Identificateur de l’enregistrement5eea226a-6188-4545-86ad-a76767dc187b
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-03-30
Date de modification :