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Sub-micron high speed complementary metal-oxide semiconductor compatible metal-semiconductor-metal photodetector

Par Conseil national de recherches du Canada

DOITrouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.1475981
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : 1Identifiant ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4232-9130; Rechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut des sciences des microstructures du CNRC
FormatTexte, Article
Date de publication
Dans
  • Journal of Vacuum Science & Technology A 20, nº 3 : 1079–.
Langueanglais
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro NPARC12744810
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Identificateur de l’enregistrement59f464fb-9fef-4646-ad65-58ec91fe9bc5
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2020-03-30
Date de modification :