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Microstructures of reactively sputtered Ti1-xAlxNy films

Par Conseil national de recherches du Canada

AuteurRechercher : 1; Rechercher : 1; Rechercher : 1
Affiliation
  1. Conseil national de recherches Canada. Institut de recherche aérospatiale du CNRC
FormatTexte, Article
ConférenceInternational Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2004) From 04/19/2004 To 04/23/2004., San Diego, CA, USA
SujetMicrostructure; Magnetron sputtering; TiAlN
Condition d’accès
  • available
  • unclassified
  • unlimited
Publications évaluées par des pairsOui
Numéro du CNRCSMPL-2003-0277
Numéro NPARC8927170
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Identificateur de l’enregistrement500e315b-ef3a-40f2-b80c-4ef55d740bd0
Enregistrement créé2009-04-23
Enregistrement modifié2020-04-16
Date de modification :