Fabrication of submicrometer regular arrays of pillars and helices

DOI	Trouver le DOI : https://doi.org/10.1116/1.591046
Auteur	Rechercher : Malac, M.; Rechercher : Egerton, R. F.; Rechercher : Brett, M. J.; Rechercher : Dick, B.
Format	Texte, Article
Sujet	bismuth; copper; periodic structures; photonic band gap; scanning electron microscopy; titanium; vacuum deposition
Résumé	We use a glancing-angle deposition technique to produce regular lattices of submicrometer pillars and helices with a two-dimensional lattice constant below 1 μm and structure heights of 0.5–10 μm. Possible applications of such structures include photonic crystals and magnetic-storage media.
Date de publication	1999-10-31
Maison d’édition	American Vacuum Society
Dans	Journal of Vacuum Science & Technology B 17, nº 6 : 2671–2674.
Langue	anglais
Publications évaluées par des pairs	Oui
Publication du CNRC	Cette publication n’est pas du CNRC Ce sont des publications qui ont été rédigées par un auteur du CNRC, mais avant que celui-ci soit employé du CNRC.
Numéro NPARC	12339118
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Identificateur de l’enregistrement	4b7cc940-d12f-4a57-a990-7348ee09990a
Enregistrement créé	2009-09-11
Enregistrement modifié	2020-10-07

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