Nanoscale resist morphologies of dense gratings using electron-beam lithography
Nanoscale resist morphologies of dense gratings using electron-beam lithography
| Format | Texte, Article |
|---|---|
| Date de publication | 2007 |
| Dans | |
| Publications évaluées par des pairs | Oui |
| Numéro du CNRC | 301 |
| Numéro NPARC | 8926129 |
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| Identificateur de l’enregistrement | 3076ff26-b020-454c-bc58-f6807e3233a1 |
| Enregistrement créé | 2009-04-23 |
| Enregistrement modifié | 2020-05-10 |
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